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KOFLOC質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品特色：
通過(guò)采用改良型恒定電流溫度差檢測(cè)方式流量傳感器效高性，實(shí)現(xiàn)快速回應(yīng)各有優勢。
通用的常閉型閥門(mén)確保了安全
使用電磁執(zhí)行器保證了高效的可靠性
低差壓類(lèi)型控制適用于燃燒的氣體（LP可選）
另有針對(duì)PM2.5設(shè)備特制品：流量16.7L/MIN，低壓差15Kpa既可更合理，*有序推進，高性?xún)r(jià)比
KOFLOC質(zhì)量流量控制器

技術(shù)參數(shù)：
流量FS(N2換算)：10SCCM-20SLPM(3660系列)
                           30SLPM-100SLPM(3665系列)
氣體種類(lèi)：所有氣體(腐蝕性適應性、有毒顯著、特殊氣體都可)
傳感器類(lèi)型：熱式傳感器
閥門(mén)類(lèi)型：電磁比例閥，常閉
控制范圍：2%-(3660系列)
                5%-(3665系列)
控制速度：2%-,2秒以?xún)?nèi)
控制精度：±1.0%FS(3660系列)
                ±1.5%FS(3665系列)
重復(fù)性：±0.5%FS
工作差壓：滿(mǎn)量程FS≤5升/分鐘，49-294Kpa
                5升/分鐘≤滿(mǎn)量程FS≤100升/分鐘需求，98-294Kpa
低差壓特制：2-149Kpa，根據(jù)具體流量來(lái)定制
高差壓特制：294-784Kpa，根據(jù)具體流量來(lái)定制
使用溫度：0-50℃
允許濕度：0-90%
泄漏率：≤1x10-8Pa.m3 /sec（不包含He）
產(chǎn)品材質(zhì)：主體-SUS316
                密封圈：Viton
                可另選：氯丁橡膠各方面，橡膠NBR
管路接頭：1/4英寸卡套(3660系列)
                3/8英寸卡套(3665系列)
                可另選：1/8英寸卡套大局、1/4英寸VCR推動、RC1/4英寸、特殊要求可定制
電氣接頭：D型9針
輸入信號(hào)：0-5V(模擬信號(hào))
輸出信號(hào)：0-5V(模擬信號(hào))
供應(yīng)電源：+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)200mA
產(chǎn)品重量：800g(3660系列)設施、1000G(3665系列.

電氣D型9針連線示意圖：
1號(hào)針：閥門(mén)開(kāi)關(guān)信號(hào)(可不接)
2號(hào)針：輸出信號(hào)0-5V
3號(hào)針：電源+15VDC
4號(hào)針：電源COM
5號(hào)針：電源-15VDC(
6號(hào)針：輸入信號(hào)0-5V
7號(hào)針：輸出信號(hào)COM
8號(hào)針：輸入信號(hào)COM
9號(hào)針：閥門(mén)電壓輸出